カジノ シークレット 公式ト

• HVPE法により高い結晶性、膜厚均一性、表面品質を実現
• 2～6インチのフラット（FSS）および加工サファイア基板（PSS）に対応
• 当社テンプレートの使用により、MOVPEプロセスの短縮、生産性の向上、性能改善が可能

• XRDの半値幅（FWHM）
  FSS上テンプレート：
  (0004) <250sec, (10-12)<350sec
  PSS上テンプレート：
  (0004) <160sec, (10-12)<200sec